平晶表面形状判断方法平晶有效直径范围内平面度的计算公式为Fd=F1-Fd（1）式中：Fd为被检平晶有效直径范围内的平面度，m；Fd为标准平晶在被检平晶的有效直径范围内的平面度，m；F1为被检平晶与标准平晶在被检平晶有效直径范围内的平面度的叠加值，其值的正负需根据平晶表面形状的凹凸情况判断决定（即凸为正，凹为负），m.研究方向为精密计量。

　　F1=bda2（2）式中：a为等厚干涉条纹间距，格；bd为被检平晶过直径处等厚干涉条纹的弯曲量，格；为照明光的波长，m.

　　Fd=d96F96（3）式中：d为被检平晶的有效直径，mm；F96为标准平晶在96mm范围内的平面度值，m.

　　计算Fd时，F1的符号必须依据凹凸判断给出，F1的符号判断方法有几种：加压分析判断法根据干涉条纹变密还是变疏来判断加压点位置是否是接触点（变密则加压点是接触点，变疏则另一侧是接触点），最后依据接触点和干涉条纹曲率中心位置关系判断平晶表面形状的凹凸情况（如果接触点与干涉条纹曲率中心位于同一侧，表面为凸，异侧则为凹）。在JJG28-2000平晶检定规程附录D中有如上表述。在实际操作中必须灵活运用，清楚原理，才能准确判断。

　　对于二级平晶，即平面度较大的平晶，基于被检平晶与实验室温差的试测分析判断法具有参考价值，相对准确，尽量采用另一种方法验证，确保判断结论正确无误。

　　检定仪器为平面等厚干涉仪1所示的光路，采用钠单色灯作光源，被检平晶在上，标准平晶在下。在被检平晶的下表面与标准平晶的上表面之间调整出薄空气楔，在平行光垂直入射时形成等厚干涉条纹。在Q点加压空气楔的楔角增大，干涉条纹变密，Q点为接触点。

　　检定仪器为激光平面等厚干涉仪2所示的光路，采用氦氖激光做光源，在标准平晶的下表面与被检平晶的上表面之间调整出空气楔，在平行光垂直入射时形成等厚干涉条纹。标准平晶的上表面做成斜面，使其反射光偏出视场，不影响等厚干涉条纹。标准平晶的下表面应与光轴垂直。

　　采用加压分析判断法，对于激光平面等厚干涉仪，在的光路下，标准平晶在上，而被检平晶在下，在Q点加压空气楔的楔角减小，干涉条纹变疏，Q点为接触点（并不是前面干涉条纹变密，加压点就是接触点、正好相反）。可见，必须理解原理，不能生搬硬套，灵活运用原理才能正确判断。

　　特别需要注意的是加压点位置应以视场内加压工具像的位置为准，最后依据接触点位置和干涉条纹曲率中心位置关系判断平晶表面形状的凹凸情况（如果接触点与干涉条纹曲率中心位于同一侧，表面为凸，异侧则为凹）。同样，此时的凹凸仅是判断公式（1）中F1的符号，被检平晶表面的凹凸判断应以最后平面度计算结果Fd的符号来决定。

　　采用阶跃温升法，同样不受被检平晶平面度大小和不同仪器光路的影响。使用平晶测量量具或工件表面平面度等厚干涉条纹能够反映两表面之间的薄膜的厚度变化情况。利用产生的干涉条纹的形状、数量、间距以及条纹的移动，来测量工件表面的质量、表面粗糙度及其局部误差，还可以测量物体的微小长度、角度和位移。

　　例如利用等厚干涉条纹对微小位移的测量，可以测量物质的热膨胀系数。利用等厚干涉条纹的数量变化，可以测量薄片的厚度、细丝的直径等。利用等厚干涉条纹的形状变化（弯曲量），可以测量工件表面的平面度和凹凸情况。

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